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垂直腔面发射激光器是什么

垂直腔面发射激光器是什么

垂直腔面发射激光器(VCSEL),是指在衬底的垂直方向上构成谐振腔,沿垂直方向上出射激光的一种新型半导体激光器。自发明问世以来便在半导体激光器领域引起广泛的关注,在激光光源领域一直占据着重要的地位,成为近些年世界主要国家研究的热门课题,并取得了重要进展。
 
垂直腔面发射激光器是什么
(垂直腔面发射激光器是什么)

 
深紫外激光器制作的过程中,VCSEL比边射型激光多了许多优点。边射型激光需要在制作完成后才可进行测试。若一个边射型激光无法运作,不论是因为接触不良或者是物质成长的品质不好,都会浪费制作过程与物质加工的处理时间。然而VCSEL可以在制造的任何过程中,测试其品质并且作问题处理,因为垂直腔面发射激光器的激光是垂直于反应区射出,与边射型激光平行于反应区射出相反,所以可以同时有数万个VCSEL在一个三英寸大的砷镓芯片上被处理。此外,既使VCSEL在制造的过程需要较多的劳动与较精细的材料,生产结果是可被控制的及更多可被预期的。
 
垂直腔面发射激光器应用广泛
(垂直腔面发射激光器应用广泛)

 
垂直腔面发射激光器(VCSEL)(Vertical-cavity surface-emitting laser, VCSEL)于1977年由日本东京工业大学的Kenichi Iga教授首次提出,至今只有30多年的历史,是一种新型的半导体激光器,由于具有出光方向垂直于衬底,可在片测试,阈值电流小,调制速率高,单纵模工作,圆形光斑易于光纤耦合等优点,被广泛应用于数据传输,光互联,气体探测等领域。

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